赛瑞达智能获得炉体及工艺炉专利下降炉管在高温下受重力效果下垂的几率
日期:2025-02-16 04:46:47 | 作者: 常用浓缩机
金融界2024年11月27日音讯,国家知识产权局信息数据显现,赛瑞达智能电子配备(无锡)有限公司获得一项名为“炉体及工艺炉”的专利,授权公告号CN 222048584 U,请求日期为2023年12月。
专利摘要显现,本请求供给一种炉体及工艺炉,触及半导体设备技术领域,该炉体包含炉管、炉门、密封组织和两个榜首支撑组织。炉管沿榜首方向延伸的一端具有炉口,密封组织设置于炉管朝向炉口的一端,炉门经过密封组织与炉管相连并经过密封组织密封炉口,两个榜首支撑组织在垂直于榜首方向的第二方向上距离排布,炉管坐落两个榜首支撑组织之间,两个支撑组织用于与工艺炉的主体部相连,两个榜首支撑组织用于支撑炉管,然后可以下降炉管在高温下受重力效果下垂的几率,提高了炉体的运用稳定性以及惯例运用的寿数。